一、大会名称

2020中国MEMS制造大会暨微纳制造与传感器展览会

同期举办：中国MEMS创业大赛

二、主办、承办单位

主办单位：中国半导体行业协会MEMS分会

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

苏州纳米科技发展有限公司

承办单位：MEMSRIGHT

江苏省纳米加工公共服务平台

苏州市集成微系统封装平台

苏州敏芯微电子技术股份有限公司

三、大会简介

作为国内唯一的MEMS行业组织，中国半导体行业协会MEMS分会联合江苏省纳米技术产业创新中心、MEMSRIGHT、中科院纳米所微纳加工平台与集成微系统封装平台、敏芯微电子等国内外MEMS代工厂、平台与机构等，在苏州举办China MEMS中国MEMS制造大会，旨在汇聚全球MEMS制造产业资源，打造MEMS领域品牌会议，加强MEMS设计、研发、加工制造、封装测试等全产业链联动关系，促进以MEMS制造为主线的产业资源垂直整合，推动我国MEMS产业领域的人才集聚、技术创新、成果转化，加速突破我国MEMS制造领域发展瓶颈。

四、大会主题

MEMS全球市场与产业链布局

MEMS全球晶圆代工产业格局与发展趋势

MEMS先进晶圆封装测试市场发展方向

MEMS在智能终端的应用前景与发展方向

五、往届回顾

China MEMS 2019共计有220+付费参会人员，来自中芯集成电路制造（绍兴）、Silex、中科院纳米所纳米加工平台、华润微电子、中电55所、阿里巴巴、歌尔声学、瑞声等30+行业专家分享最新成果，同期展览面积18000平。

六、本届亮点

聚集全球MEMS制造产业链

汇聚silex、SMEC、Bosch、MEMSRIGHT、华润微电子、士兰微、天水华天、苏州晶方、中国电子55所等全球一流MEMS制造企业

“中国MEMS创业大赛”首次举办

2个权威奖项，以公平、公开、公正为原则进行评选。聚集明星企业，最新科技的项目。20家入围企业集体参展。

“MEMS制造联盟”正式成立

50+MEMS制造领域的科研机构联合成立，着手解决行业痛点，携手共同发展

“MEMS之夜”群英荟萃

40家MEMS产业链高层共聚金鸡湖畔，共同探讨产业发展

《MEMS制造白皮书》发布

报告由中国半导体行业协会MEMS分会联合赛迪共同发布，精准解读行业，把握行业发展趋势

七、展览范围

MEMS 器件

 光学MEMS；射频MEMS ；MEMS物理传感器 (加速传感器，速率传感器，压力传感器，气体传感器，温度传感器)；微 射流（微流引导，微感应器等）；MEMS执行器；MEMS电能（燃料电池，微发电机等）；高复合型MEMS (CMOS/MEMS, LSI/MEMS 一体化)。

MEMS 代工服务

 仿真设计、原型测试、产品开发、量产；其他代工服务：图案形成、薄膜形成、雷射、离子脉冲加工、喷镀。

MEMS 应用

超微型机械人装置、微型工厂等；传感器网络；能量收集。

MEMS 加工设备

 薄膜成形（汽相淀积、溅射、CVD、覆镀；曝光系统、蚀刻技术；防腐处理；刻蚀；晶圆键合；切割；芯片/导线焊接；封装；微成形 (注射, 热压)；其他生产设备 。

分析与检测仪器

光罩缺陷检测、封装检测、表面分析仪器、粗糙度仪、扫描电子显微镜、薄膜厚度测量系统；显微镜：光学显微镜、电子显微镜、探针显微镜、电子能谱仪；检漏仪器、静电负离子空气净化机；气体分析及检测、分析和测量系统。

纳米机械微制程技术

超精度纳米机械工艺；超精密加工, 微制造；表面微加工；精细钻孔；微观切割；雷射、离子脉冲加工；聚焦离子束系统；微放电加工；超声波设备等。

纳米压印技术

微纳米模型；纳米压印生产设备。

生物技术与医疗应用

MEMS 在医疗处理及诊断方面的应用、DDS、纳米胶囊；尖端DNA & RNA 技术、微反应器、微流引导、生物/化学MEMS（DNA/RNA技术，化学检测）等。

费用收取

“中国MEMS制造大会”注册费用

（1）注册费用包含：会议期间的午餐与茶歇、会议资料、纪念品。

（2）晚餐和住宿费用自理。

展览收费标准（提前预定展位享受会员价格，详情请致电组委会）：

（1）标准展位：展位三面展板、一张咨询桌、两把折椅、两支射灯、中英文楣板、一个220V电源、地毯。

（2）光地：参展商自己负责展位的设计、搭建、用电设备等及由此产生的费用。